芯片生产是一个非常精细且需要无尘的环境,这种环境通常被称为超净室或洁净室。洁净室是一个专门设计的封闭空间,其中空气中的颗粒物已被高度复杂的过滤系统限制或去除。通常,在大学的实验室中,我们最常接触的是百级间,千级间;封装领域通常是万级间,十万级间;如果在12寸Fab工厂,光刻区甚至能达到1级,0.1级。那么这些级别是怎么划分的?分别代表什么?谁制定的?
,尽管这两个标准的等级名称不同,但他们都基于同一原理:每个等级都基于一定体积空气中的微粒数量。因此,他们之间存在着接近的对应关系: iso3==Class1
iso4==Class10 iso5==Class100
iso6==Class1000 iso7==Class10000 iso8==Class100000 Fed Std 209E在美国以外的许多地方仍被广泛引用,但这个标准在美国已经正式被取消,并由 ISO 146 44- 1取代。 因此,当 谈论洁净室标 准时,通常建议使用ISO标准,尽管很多人可能仍然熟悉和引用Fed Std 209E。
,尽管这两个标准的等级名称不同,但他们都基于同一原理:每个等级都基于一定体积空气中的微粒数量。因此,他们之间存在着接近的对应关系: iso3==Class1
iso4==Class10 iso5==Class100
iso6==Class1000 iso7==Class10000 iso8==Class100000 Fed Std 209E在美国以外的许多地方仍被广泛引用,但这个标准在美国已经正式被取消,并由 ISO 146 44- 1取代。 因此,当 谈论洁净室标 准时,通常建议使用ISO标准,尽管很多人可能仍然熟悉和引用Fed Std 209E。
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