透射电镜(Transmission Electron Microscope,TEM)是一种高分辨率的显微镜,能够对样品进行高精度的成像和分析。为了得到高质量的TEM图像,样品制备是非常重要的。
样品选择
TEM样品应该是具有明确结构和化学成分的物质,并且应该在TEM分析下是透明的。通常使用纯净的金属或合金、无机晶体、生物分子等作为TEM样品。由于TEM需要非常薄的样品,因此对于不透明或太厚的样品,需要进行切割或磨薄,以获得透明的样品。
样品制备
制备TEM样品的过程应该严格控制,以确保样品表面光滑且无损伤。以下是几种常见的TEM样品制备方法:
(1)切割法
对于大块样品,可以使用切割机或电离子切割机将其切割成薄片。切割时应该控制切割角度和速度,以确保切割出的薄片表面光滑。切割后的薄片需要进行抛光和清洗,以去除表面污染和毛刺。
(2)磨薄法
对于小样品或脆性样品,可以使用磨薄机将其磨成薄片。磨薄时需要控制磨头和样品之间的距离和速度,以避免破坏样品。磨薄后的样品需要进行抛光和清洗。
(3)离子蚀刻法
对于某些材料,如半导体材料和金属材料,可以使用离子蚀刻法制备TEM样品。离子蚀刻可以将样品表面逐渐去除,直到获得透明的薄片。离子蚀刻过程需要控制离子束的能量和流量,以避免样品表面的损伤。
样品固定
在制备TEM样品之后,需要将其固定在网格上,以便放置到TEM中进行分析。网格应该是无污染的,通常使用碳膜或氧化亚铜薄膜制成。将样品放置在网格上时,需要控制样品和网格之间的距离和角度,以确保样品位于TEM光束路径。