知识星球里的学员问:光刻掩模版是如何做出来的,麻烦详细讲解下。
如上图,设计分为四步:
1. 讨论工艺步骤(约1小时):工艺人员和设计人员会首先讨论掩膜板的设计要求,明确最终所需的图案、分辨率以及工艺需求。
2. CAD设计布局(约2周):研究人员使用CAD等软件进行掩膜图案的设计。
3. 检查CAD布局(约30分钟):在设计完成后,技术人员会检查设计的正确性和符合性。确保所有图形和布线与工艺需求相符,避免后续制作中的问题。
4. 文件转换为GDS II格式(约30分钟):将CAD文件转换为GDS II格式,这是掩膜制造中的标准文件格式,便于电子束曝光机,激光直写设备识别。GDS II文件包含了所有光刻层的几何信息。
如上图,是掩模版的制作环节:
5. 图形曝光(约4.5小时):将GDS II文件导入电子束曝光机,激光直写机台中,按照设计的图形进行无掩膜曝光。
6. 显影光刻胶(约5分钟):曝光后的掩膜板会经过显影工艺,将未曝光部分的光刻胶去除,留下图形区域。
7. 铬刻蚀(约5分钟):刻蚀掉暴露的铬层,形成图案化的掩膜。铬具有良好的遮光性,很适合做遮光材料。带有Cr层的石英由供应商提供。
8. 检查完成的掩膜板(约10分钟):最后,经过显微检查或自动检测设备对掩膜板进行检查,确保图案精确度、线宽、缺陷等指标符合要求。
一共需要时间两周多的时间可以制造出一张光刻掩模版。