附 录 B(资料性)等级划分计算实例

B.1 示例1

B.1.1 某个洁净室占地面积18m2,规定洁净度级别为动态ISO5级。使用采样流量为28.3L/min的 离散粒子计数器进行分级测试。2个关注粒径分别为:D≥0.3μm 和D≥0.5μm。

查表 A.1,采样点数 NL 为6。

B.1.2 从表1查得ISO5级的粒子浓度限值为:

算得的单次采样量为5.68L。由于所使用的离散粒子计数器每分钟的采样流量是28.3L/min,采样1min的采样量符合要求(见 A.4.4),所以每次采样的采样量定为28.3L。

注:在 A.4.4中,通过如上所述的步骤计算最小采样量,然后确定粒子计数器运行1min对应的采样量。每个点的采样至少持续1min;当1min内的采样足以满足最小采样量要求时,则1min到后可结束采样。当所用仪器1min内的采样量不足以满足最小采样量要求时,需以分钟(min)为单位继续采样且至满足最小采样量要求为止。由于有几种不同采样流量的粒子计数器,在此提醒使用者,在确定采样时间既满足1min要求也满足计算的最小采样量时,核对所用具体仪器的采样流量。

B.1.4 每个点只进行一次采样。在每个采样点处各个粒径对应的每立方米粒子数目xi 的计算如表 B.1 和表B.2所示

B.1.5 如表B.1和表B.2所示,D≥0.5μm 粒子的每一个浓度值都小于10200个/m3 的限值,D≥0.5μm 的每一个浓度值都小于3520个/m3 的限值;因此该洁净室按粒子浓度划分的空气洁净度达到所要求 的ISO 等级。

B.2 示例2

B.2.1 某个洁净室占地面积9m2,洁净度级别规定为动态ISO3级,使用采样流量为50.0L/min的离 散粒子计数器进行分级测试。关注粒径只有一个(D≥0.1μm)。

B 查表 A.1,采样点数 NL 取5。

B.3.5 D=0.5μm 粒子的每个浓度值都小于表1中规定的3520个/m3 的限值;因此该洁净室按粒子浓度划分的空气洁净度达到所要求的ISO 等级。

B.4 示例4

B.4.1 某个洁净室占地面积25m2,洁净度级别规定为动态ISO5级,使用采样流量为28.3L/min的离散粒子计数器进行分级测试。关注粒径只有一个(D≥0.5μm)。

查表 A.1,采样点数 NL 取7。

B.4.6 在4号采样点,采样的平均浓度4165个/m3 超出了ISO5级限值3520(个/m3)。在3号和 9号采样点,尽管这两点的平均粒子浓度符合表1中规定的限值,但是每个点各有一次采样的粒子浓度数据超出了表1中所规定的限值。由于4号采样点的粒子浓度不符合洁净度要求,因此该洁净室按粒子浓度划分的空气洁净度未达到所要求的ISO 等级。

B.5 示例5

B.5.1 某个洁净室占地面积10.7m2,洁净度级别规定为动态ISO7.5级,使用采样流量28.3L/min 的离散粒子计数器进行分级测试。关注粒径只有一个(D≥0.5μm)。

查表 A.1,采样点数 NL 取6。

B.5.5 在4号采样点,第三次采样的浓度1222507个/m3(34632 × 35.3)超出了ISO7.5级限值 1110000(个/m3)。可是并不要求每个单次采样的粒子浓度都符合表1中所规定的限值。由于各采样点的平均粒子浓度要符合表1中所规定的限值要求,因此该洁净室按粒子浓度划分的空气洁净度达到所要求的ISO 等级。