性 ， 也 对 精 密 运 动 控 制 方 法 提 出 了 更 高 的 要 求 。

１ 前馈和反馈结合的复合控制

１ ． １ 两自由度控制结构

光 刻 机 运 动 台 系 统 是 多 输 入 多 输 出 （Ｍｕｌｔｉｐｌｅ－ＩｎｐｕｔＭｕｌｔｉｐｌｅ

－ Ｏｕｔｐｕｔ ， ＭＩＭＯ ） 系 统 ， 在进行高精度 运 动 控 制 时 ， 首先需要对多个物理

轴和逻辑轴进行解耦 ， 将其转换为若干个单输入 单输 出 （ Ｓｉｎｇｌｅ－ＩｎｐｕｔＳｉｎｇｌｅ－Ｏｕｔｐｕｔ ， ＳＩＳＯ ） 系 统， 然 后对每个运 动自 由 度 的控 制器 进行独立设 计。 对 于 每个运 动自 由 度 普遍采 用前 馈 与 反馈结 合的两 自 由 度复合 控 制 方法 ， 其控 制 结构如图 ３ 所示。