MEMS（微机电系统）六轴陀螺仪主要包括三轴陀螺仪和三轴加速度计，以下是其工作原理的简要介绍：                            
 
三轴陀螺仪工作原理：
 
陀螺仪利用科里奥利力原理来测量角速度。它通常有一个可振动的质量块，当物体绕着某个轴旋转时，质量块在旋转坐标系中会受到科里奥利力的作用而产生位移或振动。通过检测这种位移或振动的变化，就可以测量出相应轴上的角速度。每个轴上的陀螺仪分别测量该方向上的角速度信息。
 
三轴加速度计工作原理：
 
加速度计基于牛顿第二定律，通过测量质量块在加速度作用下产生的位移或应变等，来确定加速度的大小和方向。当有加速度作用时，质量块会产生相应的位移或变形，通过敏感元件将这些变化转化为电信号输出，从而得到各个轴上的加速度值。
 
六轴陀螺仪可以同时测量物体在三维空间中的角速度和加速度，这些信息可以用于姿态检测、运动跟踪、导航等多种应用，为设备提供精确的运动状态感知和空间定位能力。