白光干涉仪的基本原理是通过不同的光学元件形成参考光路和探测光路，是利用干涉原理测量光程差，从而确定相关物理量的光学仪器。结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等，可以对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，然后通过一体化操作的测量分析软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，从而获得反映器件表面质量的2D、3D参数，实现器件表面形貌3D测量。

测量分析软件

1）测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；
2）可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；
3）结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程；
4）几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全；
5）一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能；
6）可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。

其中白光干涉仪的拼接功能，能够针对样品的同一区域进行不同模式的检测。白光干涉仪拼接功能3轴光栅闭环反馈，在样品表面抽取多个区域测量，可以快速实现大区域、高精度的测量，从而对样品进行评估分析。不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提高效率。

白光干涉仪XY载物台标准行程为140*110mm，可以测到12mm，也可以测到更小的尺寸，局部位移精度可达亚微米级别，可以测量非常微小尺寸的器件；也可以使用自动拼接测量、定位自动多区域测量功能将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像，从而获得物体整个区域的表面情况。

大尺寸样品拼接测量

自动拼接功能

操作步骤

1.点击XY复位，使得镜头复位到载物台中心
2.将被测物放置在载物台夹具上，被测物中心大致和载物台中心重合；
3.确认电机连接状态和环境噪声状态满足测量条件；
4.使用操纵杆摇杆旋钮调节镜头高度，找到干涉条纹；
5.设置好扫描方式和扫描范围；
6.点击选项图标，确认自动找条纹上下限无误；
7.点击多区域测量图标，可选择方形和（椭）圆形两种测量区域形状；
8.根据被测物形状和尺寸，"形状”栏选择“椭圆平面”，X和Y方向按需设置；
9.点击弹出框右下角的“开始”图标，仪器即自动完成多个区域的对焦、找条纹、扫面等操作。