写一点基础概念 用各种技术和方法来分析和测量外延材料(如半导体薄膜、纳米结构或其他材料)物理、化学和结构特性。 外延材料是指在基地(通常是晶体基底)通过外延生长技术(如分子束外延(MBE)、化学气相沉积(CVD)等)沉积的薄膜材料。 目的 了解它是什么,包括质量、成分和其他关键特性 常见的外延材料表征技术包括: X射线衍射(XRD):外延层的晶体结构、取向、应力和厚度扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)原子力显微镜(AFM)光致发光(PL)光谱:分析外延材料的光学特性和缺陷态。入门介绍X射线光电子能谱(XPS)和俄歇电子能谱(AES):用于研究材料的化学成分和表面化学状态。