最近用深N阱工艺做了一个项目,记录一下深N阱工艺的剖面图,以及各个端口的接法接法(NMOS深N阱)。
首先是CMOS工艺的深N阱技术的剖面图,图源自拉扎维课本;NMOS也有了自己的“阱”,所以它相当于是把NMOS隔离起来,避免其他模块对NMOS的扰动。
接下来,看一下SMIC工艺中深N阱NMOS的symbol,以及寄生diode;
比普通的NMOS管子多了两个端口:B2和T;
要想寄生diode不正向导通,其P端一定接最低电位,N端一定接最高电位,所以B2要接到“地”,T最好要接到最高电压域,如果系统中存在多个电压,要考虑到,最高电压会不会使得D4反向击穿。
如果NMOS工作在负电压域时,要考虑到,T接高电压会不会导致D3反向击穿。