知识星球里的学员问：在薄膜沉积中，应力是一个经常要监控的参数，它有什么作用？应力过大对薄膜有哪些影响？

应力是什么？ 薄膜的应力是指在薄膜沉积过程中，薄膜内部或薄膜与基材之间产生的作用力。
薄膜应力如何产生？ 1，晶格不匹配，会导致薄膜在基底上形成应变。若薄膜试图与基底晶格对齐，会产生张应力或压应力。 2，晶体缺陷，如位错、空位等，这些缺陷会引起局部的应力集中，进而引起整体的内应力。缺陷越多，应力越大。 3，薄膜和基底材料之间的热膨胀系数差异。随着温度的变化，薄膜会膨胀或收缩，不同材料的膨胀或收缩速率不同，导致应力的产生。 应力过大对薄膜质量的影响？ 1，应力过大会导致薄膜开裂，脱落，褶皱等，也会导致衬底的翘曲过大。 2，应力会改变半导体材料的电子迁移率，影响器件的电流传输性能。由于缺陷过多，会大大降低薄膜的击穿电压。 3，应力过大会改变薄膜的折射率 如何解决应力过大问题？
1，工艺优化，减少沉积速率。
2，选择热膨胀系数较匹配的材料 3，退火处理 等等      欢迎加入我的半导体制造知识星球社区，目前社区有1900人左右。在这里会针对学员问题答疑解惑，上千个半导体行业资料共享，内容比文章丰富很多很多，适合快速提升半导体制造能力，介绍如下： 》