RFID技术半导体天车设备上的应用

news2024/11/25 13:34:15

在当前的制造业环境中，无人化和自动化已经成为了发展的主流趋势，加之在半导体制造业中，12寸的晶圆盒尺寸大，重量重，人工长期搬运会对身体有损伤，而且人工搬运也会对产品的良品率造成影响，因此，半导体制造厂需要提升自身的自动化水平。

而天车搬运系统作为半导体制造厂中一种重要的自动搬运系统，已被广泛应用在半导体制造业中，通过提高物料运输，降低人力成本和减少污染风险，改善整体的生产流程，提升优化生产工序。

科智立针对半导体天车设备的基本情况，基于RFID技术推出了半导体天车设备的移动定位解决方案与天车设备的货物自动存取解决方案。

半导体天车移动定位解决方案

即应用物联网RFID技术，在天车上安装半导体RFID读写器，在行车轨道节点处粘贴RFID标签。通过RFID读写器接收行车轨道站点处的RFID标签，从而获得天车的行车位置信息，对天车进行实时的位置动态监测，并根据自身所在的位置进行线路规划与调度，确保天车的作业安全距离与运输效率。半导体RFID读写器还可与天车的控制系统相结合，能够有效地解决天车的防碰撞问题，实现天车地自动化作业安全，同步提升安全和生产效率。

半导体天车货物自动存取解决方案

FOUP晶圆盒上安装TI载码体标签，标签内录入着晶圆芯片的所有信息，如晶圆尺寸、制造日期、流程信息等。当天车搬运FOUP晶圆盒时，半导体RFID读写器接收来自TI载码体标签的相关信息，确保所搬运的FOUP晶圆盒是准确。在行驶到相应的存储/放置位置时，半导体RFID读写器再次识别目的地的标签信息，并将符合的信息的FOUP晶圆盒放到相应的位置，同时将拿取到放置时所有的信息上传到管理系统处，若是产品有瑕疵等不良品的出现，可依据这些数据进行产品生产运输过程的溯源，帮助快速定位到问题点上。