摘要

光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，

设计任务

 

光栅特性与参数的严格分析

不同光栅周期的衍射效率

 

考虑光栅周期的选择

偏振相关衍射特性

 

 

偏振相关衍射特性

 

偏振相关衍射特性

 

基于参数优化的光栅设计

具有固定周期的二维参数优化

 

二维参数优化 - 设计＃1

 

二维参数优化 - 设计＃2

 

制造公差分析 - 设计＃2

 

不同光栅周期的三维参数优化

 

制造公差分析

 

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