原理
激光自动对焦原理:
(1)激光自动对焦显微系统利用激光束的自聚焦特性实现精确焦点控制。在检测过程中,激光束通过照明针孔形成点光源,对样品表面进行扫描。
(2)被照射的点在探测针孔处成像,由探测针孔后的光点倍增管或冷电耦器件逐点或逐线接收,并迅速在计算机监视器屏幕上形成荧光图像。
(3)当显微物镜和被测物体表面之间的距离改变时,自动对焦传感器接收到的光斑形态会发生变化。通过自动对焦传感器内部附带的图像处理算法,将光斑形态转换为物镜的离焦量,并根据离焦量发出脉冲信号,控制电机运动,从而实现显微系统的自动对焦。
系统组成与工作原理:
(1)激光自动对焦显微系统主要由工业相机、同轴光源、物镜对焦运动模块、物镜安装模块、显微镜管模块、激光传感器模块以及APO物镜板块七大模块组成。
(2)工业相机负责捕捉图像,同轴光源提供均匀且稳定的照明,物镜对焦运动模块确保精准对焦,物镜安装模块保障物镜的稳固与准确安装,显微镜管模块起到整体支撑和光路传导的作用,激光传感器模块敏锐感知焦距变化,APO物镜板块则为成像提供高品质的光学性能。
作用
1、高精度检测:
激光自动对焦显微系统能够实现微米级别的检测精度,满足高精度实验和检测的需求。这一特性使其在半导体检测、材料科学等领域具有广泛应用。
2、非接触式检测:
系统采用非接触式检测方式,避免了传统检测方法中可能引入的污染和损伤,保证了样本的完整性和安全性。
3、快速检测:
系统具有快速自动对焦功能,能够在短时间内完成大量样本的检测任务,提高实验和检测效率。
4、可视化检测结果:
检测结果可以以图像或视频的形式展示,使得检测过程更加直观、易于理解。这有助于研究人员更好地分析样本的微观结构和性能。
5、广泛应用于多个领域:
① 在半导体行业,激光自动对焦显微系统可用于晶圆制造过程中的涂膜检测、显影刻蚀监控、杂质分布检测以及芯片封装过程中的凸点高度和共面性检测等。
② 在材料科学领域,该系统可用于分析材料的微观形貌、成分和结构等信息。
③ 此外,激光自动对焦显微系统还可应用于生物医学、环境监测等领域。