单晶硅是电子工业的重要基础材料，广泛应用于太阳能光伏、半导体等领域。然而，单晶硅的生产过程中使用了氢氟酸、氟化铵等大量含氟化学品，导致产生的废水中含有高浓度的氟化物。这些含氟废水若未经有效处理，直接排放到环境中，将严重影响水体生态平衡，威胁人类健康。

为了应对这一问题，行业内已经开发出多种处理工艺，包括沉淀法、药剂法和离子交换树脂法等。其中，离子交换树脂法通过特定设计的树脂能够高效稳定地去除废水中的氟离子，从而解决出水水质不稳定的问题，同时大大减少了污泥量和土建成本。与药剂法相比，离子交换法的运行成本更低，为企业节省了环保费用支出，提高了经济效益。

在深圳地区的一个电子企业废水除氟项目中，采用除氟树脂来去除单晶硅废水中的氟离子。这种结合工艺能够将出水中的悬浮固体浓度降至小于10mg/L,同时将氟化物浓度降低至小于1mg/L,远低于《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)规定的限制。

项目设计规模为每日处理32000立方米废水，主要目标是有效去除水中的氟化物。在预处理阶段，通过采用物化方法，废水中的悬浮固体(SS)浓度控制在20-30mg/L,氟化物含量降至5-15mg/L。为了达到更为严格的出水标准，科海思设计了一套包括多介质过滤器和除氟树脂相结合的深度处理工艺。

这种结合工艺能够将出水中的悬浮固体浓度降至小于10mg/L,同时将氟化物浓度降低至小于1mg/L,远低于《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)规定的限制。

整个流程88个小时，即3.5天左右为一个周期。树脂在吸附氟离子饱和后，需要先进行再生，才能恢复到使用前再次投入使用。再生用硫酸铝/氯化铝(8%-10%),将树脂官能团吸附的氟离子洗脱，洗脱废液里面主要是硫酸铝/氯化铝、氟离子等。再生流量为4BV/H,即4倍的树脂体积，40m^3/h,再生时间一般是30-60min。

项目中采用的Tulsimer®CH-87是一款去除水溶液中氟离子的专用凝胶型选择性离子交换树脂。它具有氟化物选择性官能团的交联聚苯乙烯共聚物架构，去除氟离子的能力可以达到1ppm以下，同时可以在中性至碱性的PH范围内有较高的工作效率，且容易再生。