缺陷密度Default Density(D0),表示单位面积的缺陷数D。
单位面积有M个部件,一个部件的平均失效率为:
一个面积为A的系统(芯片)良率:
Possion模型:
当M趋于无穷时,系统良率为possion模型。
Murphy模型:(D~对称三角分布)
大芯片或大系统possion模型预估良率过于悲观,因为不同缺陷之间可能存在相关性,因此缺陷D为一分布,良率应为对缺陷D分布的积分。D分布的均值为D0。当D服从对称三角分布时,系统良率为Murphy模型。
Seed模型:(D~指数分布)
当D服从指数分布时,系统良率为Seed模型。
Bose-Einstein模型:
缺陷集中在某一个关键mask layer时,良率为Bose-Einstein模型。
负二项模型:
当D服从伽马分布,良率为负二项模型。
参考资料:
yield modeling and analysis
https://fog.misty.com/perry/cod/references/yield_models.pdf
https://fog.misty.com/perry/cod/c1/notes_16.html