【IC】良率模型-yield model

news2024/11/18 3:23:28

缺陷密度Default Density(D0),表示单位面积的缺陷数D。

单位面积有M个部件,一个部件的平均失效率为:
在这里插入图片描述

一个面积为A的系统(芯片)良率:

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Possion模型:

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当M趋于无穷时,系统良率为possion模型。

Murphy模型:(D~对称三角分布)

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大芯片或大系统possion模型预估良率过于悲观,因为不同缺陷之间可能存在相关性,因此缺陷D为一分布,良率应为对缺陷D分布的积分。D分布的均值为D0。当D服从对称三角分布时,系统良率为Murphy模型。

Seed模型:(D~指数分布)

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当D服从指数分布时,系统良率为Seed模型。

Bose-Einstein模型:

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缺陷集中在某一个关键mask layer时,良率为Bose-Einstein模型。

负二项模型:

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当D服从伽马分布,良率为负二项模型。

参考资料:
yield modeling and analysis
https://fog.misty.com/perry/cod/references/yield_models.pdf
https://fog.misty.com/perry/cod/c1/notes_16.html

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