低压扫描电镜（LVSEM）为主流低压电子显微镜产品 未来需向多功能方向发展
低压扫描电子显微镜，简称低压扫描电镜，英文简称LVSEM，是一种在较小加速电压条件下工作的、利用低能电子束扫描样品进行成像的电子显微镜。低压扫描电镜是低压电子显微镜两大类细分产品之一。
扫描电子显微镜是介于光学显微镜与透射电子显微镜之间的观察样品的仪器，可以表征样品微观形貌。根据新思界产业研究中心发布的《2024-2029年中国低压扫描电镜（LVSEM）行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，与常规扫描电子显微镜相比，低压扫描电镜利用低能电子束，可以提高成像对比度，提升图像分辨率，并降低样品辐照损伤，可用于敏感材料观察领域，且能够不对绝缘样品或者半导体样品喷涂导电膜进行直接观察，因此受到关注。
2023年，全球低压电子显微镜市场规模约为13.4亿美元，预计2023-2029年将以5.3%的年复合增长率增长，到2029年市场规模将达到19.2亿美元。其中，低压扫描电镜占据绝对主导地位，2023年市场占比达到98%左右，主要得益于纳米材料三维形貌观察分析、生物试样动态观察需求上升推动。
随着科技进步、应用领域不断拓宽，新型材料研究步伐不断加速；为推动医疗技术进步、满足民众健康需求，生物学、医学研究进展加快。在此背景下，材料科学、生命科学等领域对低压扫描电镜的需求将继续增长，预计2029年，在全球低压电子显微镜市场中，低压扫描电镜仍将占据主导地位。
中国科学院上海硅酸盐所是我国科研院所中首个引进低压扫描电镜的机构，引进的是美国赛默飞旗下产品，主要用于材料分析方面。中国科学院上海硅酸盐对低压扫描电镜应用研究极为重视，做了大量研究工作，于2014年出版了《低电压扫描电镜应用技术研究》，阐述了低压扫描电镜在无机纳米材料领域的应用。
新思界行业分析人士表示，在具有单一工作模式的低压电子显微镜领域，低压扫描电镜发展前景好。但现阶段低压电子显微镜正在向多工作模式发展，例如2022年，美国Delong公司推出的LVEM 25E低电压电子显微镜同时拥有透射电镜（TEM）、扫描透射电镜（STEM）、扫描电镜（SEM）、能量色散谱（EDS）、电子衍射（ED）五种工作模式。就低压电子显微镜整体市场来看，为满足不同下游需求，多功能低压电子显微镜更具发展前景，低压扫描电镜研制可向此领域进行技术拓宽。
