配方在SECS里面成为PPID,叫成recipe
配方有什么用?
设备在针对每款产品,都需要不同的加工工艺,这个加工工艺参数统称配方recipe
SECS/GEM对配方描述是什么?
process program --- process program is the pre-planned and reusable portion of the set of instructions, settings, and parameters under control of the equipment that determine the processing environment seen by the manufactured object and that may be subject to change between runs or processing cycles。
过程程序是在设备控制下的指令、设置和参数集的预先计划和可重复使用的部分,这些指令、设置或参数确定了制造对象所看到的处理环境,并且可能在运行或处理周期之间发生变化。
配方管理是什么?
配方管理简单的理解就是:工厂对设备配方进行增删改(上传、下载、修改)
配方管理系统是什么?
RMS成为配方管理系统 Recipe Manage System
SECS/GEM怎么处理配方?
在SECS/GEM协议里面,处理配方的内容是S7Fx系列功能
成熟的方案 ,工作量只需数天,节省开发时间95%
数年稳定可靠的成熟应用,运行于所有半导体厂,包括台湾台积电