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illegal dimension route DRC的违例常出现的先进工艺里，部分层次在水平方向和竖直方向有宽度梯度的要求。如下示例:

 

意思就是竖直方向（yLegalDim）有三个梯度，Dy1 Dy2 Dy3宽度当＞Dy3时，就不限制宽度要求了。同理上图示例水平方向（xLegalDim）有四个梯度。

当遇到illegal dimension route错误是就是宽度或长度出了问题。