M-2000系列光谱椭圆仪是为满足薄膜表征的需求而设计的。RCE技术结合了旋转补偿器椭圆仪和CCD检测，在几分之一秒内收集整个光谱（数百个波长），并有多种配置。擅长于从原位监测和过程控制到大面积均匀性绘图和通用薄膜表征的椭偏仪。光谱检测RCE设计与CCD检测兼容，可同时测量波长。光谱范围采集从紫外线到近红外的700多个波长同时采集。 适合直接连接到您的工艺室或配置在我们的桌面底座上，进行准确的椭圆测量。
美国J.A.Woollam光谱型椭偏仪电源维修；M-2000旋转补偿椭偏仪高压发生器维修。
应用范围材料：半导体、电介质、聚合物、金属、多层等。
可选光谱范围：
V型 370－1000nm
U型 245－1000nm
D型 193－1000nm
红外扩展 1000－1700nm
可选变角：手动连续可变；自动连续可变
微光斑选件：25×60微米
维修类型如下：
1、M-2000 光谱型椭偏仪
无论是科研还是工业生产，M-2000都可以满足您的需求，多样的配置选项满足不同用户的要求。旋转补偿技术确定Delta的准确测量，CCD列阵的使用使全光谱扫描可在几秒中内完成。
2、Alpha-SE 光谱型椭偏仪
α-SE是一款高性价比的光谱型椭偏仪。简约设计，理想的薄膜分析工具。计算机通过通讯口控制仪器、数据采集。配置易用的数据分析软件，易于使用，带有选项的按钮式操作软件技术，基于旋转补偿技术，十秒内完成180个波长的测量及数据的拟合 功能强 提供厚度、光学常数、表面粗糙、界面层等数据应用范围，适用于可见光谱段薄膜的研究及日常工艺控制。
3、V-VASE 光谱型椭偏仪
V-VASE是一款自动可变角，单色仪分光的光谱椭偏仪。可应用于半导体、电介质、聚合物、金属、等薄膜的研究和分析。自动相位延迟技术做到了测量准确性，测试重复性。具有灵活多变测试功能的V-VASE可用于研究中。
3、IR-VASE 光谱型椭偏仪
IR-VASE可应用于红外材料光学特性的测量及分析，IR-VASE在半导体上可应用于掺杂浓度的测量。超宽光谱适合多种红外材料，旋转补偿技术做到了测试数据的准确性。IR-VASE是红外椭偏仪中的产品。
5、VUV-VASE 光谱型椭偏仪
UVV-VASE是一款真空紫外椭偏仪，通常用来测量及研究薄膜的紫外光学特性，如光刻胶等。
6、T-solar 光谱型椭偏仪
T-Solar是为光伏行业量身定制的一款光谱椭偏仪，无论是硅电池（绒面）还是薄膜电池，都可以用T-Solar来测量。
