KLA在线软件分析图
软件仿KLA公司免费浏览器软件ProfilmOnline,软件地址ProfilmOnline - 用于3D轮廓仪和AFM的表面成像、分析和测量软件
可以直接从profilmonline上下载3D图加载对比分析,当前已完成的内容有
1、调平
2、尖峰去噪
3、能量密度图,
4、各类ISO参数分析(Sq,Ssk,Sku,Sp,Sv,Sz,Sa …等) 分析参数与在线软件对比无差异
5、支持各类数据读入,sur文件,txt文件,stl文件
6、支持尺寸测量,横截面测量。
7、软件采用拖拽式控件组合各个算子。
8、支持保存解决方案,保存的是xml格式文件。
9、可支持自动化项目,算子底层开启子线程运算,不卡界面。
还有一些其他的小功能
后续增加一个2D同步显示界面。
增加各类型剖面图。
增加硬件支持。
增加缺陷分析。
增加扫描轮廓整体评价。