E84-晶圆载具交接自动化

news2024/11/25 2:20:17

E84是一种通讯协议,它的核心作用在于为通讯传感器/设备的开发提供基础架构。

E84协议详细阐述了晶圆载具(如FOUP/POD等)在工厂自动化物料搬运系统(AMHS)与机台装载端口(LP)之间,如何通过光电类传感器实现自动化的交接过程。

当机台装载端口LP切换到自动模式时,晶圆厂的主机或MES系统虽然会发起晶圆装载指令,但并不会直接介入具体的交接操作。此时,E84协议就起到了规范整个交接流程的作用。

具体的交接流程如下:

AMHS系统中的运输设备(如轨道天车OHT、地面移动机器人AMR或空中辊道系统Conveyor等)负责在工厂内运输晶圆载具。当这些运输设备到达机台指定位置时,AMHS和机台之间的传感器会通过一系列光学信号进行交互,确认双方是否准备好进行晶圆载具的接入或送出。一旦准备就绪,交接流程将被触发,并会妥善处理可能出现的异常情况,直至交接任务完成。

E84协议不仅定义了交接过程中所需的信号及其用途,还详细描述了交接动作的顺序、应答响应机制以及异常处理策略,确保了整个过程的顺畅进行。
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