提供全系列ADTEC自动阻抗匹配器维修，射频电源维修。

ADTEC自动阻抗匹配网络可以实现高速自动整合，该系列设备装备了可以通过个人电脑操作和测量的AMV软件，设备内置了用于预设和LC网络的标准库，还可以根据客户要求进行定制，包括I/F，外观尺寸，整合范围等。该型射频阻抗网络匹配器具有响应速度快，匹配精度高的特点，能够进行控制，快速降低反射功率，减少射频损耗，提升能源效益。

ADTEC自动阻抗匹配器参数规格

AC 电源输入：1 phase，AC 100 ~ 200V（50 ~ 60Hz），DC 24V，2.5安

RF 射频输入：2000W（Max），频率13.56MHz，50Ω

支持频率范围：380kHz ~ 40.68MHz

设备通过功率：300W ~ 30KW

通讯接口：Remote，I/F

设备散热：风冷散热

设备重量：8kg

射频电源设备维修包括：刻蚀，RIE,PECVD,ICP,射频溅射，CVD和PVD等系统，CPSΜ射频电源匹配器及RF射频电源发生器维修。

应用范围：主要服务于太阳能光伏、PVD镀膜，半导体薄膜、离子注入、刻蚀，平板显示，光盘、光电子LED等制造工艺以及科研院校、研究所等设备的高压、直流、射频电源。主要包括高压电源HV PSU、射频电源RFG、匹配网络RF Match、直流电源DC POWER、微波发生器等，提供设备维护维修、批量产品维修。

一、维修真空溅射镀膜设备、等离子清洗设备、真空贴合机、设备上的电控部件:射频电源、射频器、靶材电源、高压电源、微波电源、磁控溅射电源、中频电源、高频电源、远程等离子体源、霍尔离子源、脉冲电源、直流电源、氧化源电源、特种电源、匹配器、膜厚仪等。

二、维修仪器设备:试验机、检测仪、分析仪、光度计、镭射切割机、激光器等。

射频电源设备主要服务于太阳能光伏、PVD镀膜，半导体薄膜、离子注入、刻蚀，平板显示，光盘、光电子LED等制造工艺以及科研院校、研究所等设备的高压、直流、射频电源。主要包括高压电源HV PSU、射频电源RFG、匹配网络RF Match、直流电源DC POWER、微波发生器等，提供设备维修服务。