三甲硅烷基胺（TSA）可用作半导体前驱体材料 南大光电为我国代表企业

三甲硅烷基胺（TSA）是一种无机化合物，分子式为（SiH3）3N，其外观呈无色流动性液体。三甲硅烷基胺具有易水解、自燃性高、反应活性高等特点，在化工合成、医药合成、半导体制造以及科学研究领域应用较多。

        近年来，随着本土企业及科研机构持续发力，我国三甲硅烷基胺专利数量持续增加，主要包括《一种三甲硅烷基胺的合成方法》、《制备三甲硅烷基胺的系统及方法》、《一种制备三甲硅烷基胺的方法》、《由一氯硅烷和氨制备三甲硅烷基胺的方法》、《用于凝相制备三甲硅烷基胺的设备和方法》等。未来伴随研究深入、技术进步，三甲硅烷基胺行业发展速度有望进一步加快。

        根据新思界产业研究中心发布的《2024-2029年中国三甲硅烷基胺（TSA）行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，三甲硅烷基胺是一种含硅化合物，主要应用于化工合成、医药合成、半导体制造以及科学研究领域。在化工合成领域，三甲硅烷基胺可用于制造高性能聚合物；在医药合成领域，其可用作药物载体；在半导体制造领域，其作为半导体前驱体材料，适用于半导体薄膜沉积工艺中。近年来，在国家政策支持等积极因素推动下，我国半导体产业发展速度不断加快，这将为三甲硅烷基胺带来广阔市场空间。

        全球三甲硅烷基胺市场主要参与者包括德国赢创工业集团（Evonik）、德国瓦克化学公司（Wacker）等。赢创为全球化工龙头企业，拥有多项三甲硅烷基胺相关发明专利，其产品销量长期保持增长趋势。

        我国三甲硅烷基胺主要生产商包括江西华特电子化学品有限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、浙江博瑞电子科技有限公司、洛阳中硅高科技有限公司等。南大光电专注于电子特气、先进前驱体材料、光刻胶及其配套材料的研发、生产及销售，为我国三甲硅烷基胺代表企业。据南大光电企业年报显示，2023年公司半导体材料业务实现营收16.5亿元，同比增长4.4%。

        新思界行业分析人士表示，三甲硅烷基胺作为半导体前驱体材料，应用需求旺盛，行业发展前景较好。未来随着全球半导体产业向我国大陆转移，三甲硅烷基胺行业发展速度将进一步加快。与海外发达国家相比，我国三甲硅烷基胺行业起步较晚，但发展势头迅猛，已有多家企业具备其量产能力。