电镜是指利用电子束取代可见光束来观察和成像的仪器，包括扫描电镜（SEM）、透射电镜（TEM）和透射扫描电镜（STEM）等。它们的检测标准和方法各有不同，具体如下：

1、扫描电镜（SEM）

检测标准：

-　分辨率：通常在几纳米到几十纳米

-　放大倍率：20倍到约30万倍

-　探测器：二次电子探测器、背散射电子探测器等

检测方法：

-　准备样品，通常需要导电处理

-　在真空条件下，使用电子束扫描样品表面

-　根据二次电子、背散射电子等信号形成图像

2、透射电镜（TEM）

检测标准：　　

-　分辨率：可达于0.1纳米

-　加速电压：通常100-300kV

-　样品厚度：一般小于100纳米

检测方法：

-　制备超薄样品

-　在真空条件下，电子束透射通过样品

-　根据透射电子信号形成明视野、暗视野等图像

3、透射扫描电镜（STEM）

检测标准：

-　聚焦电子束直径：通常0.05-0.3纳米　　

-　检测器：暗视场环阻、HAADF等

检测方法：　　

-　准备薄样品

-　聚焦电子束扫描样品

-　根据散射电子信号形成图像，如Z-constrast图像

除了上述标准检测外，电镜还可以结合其他技术进行元素分析、晶体结构分析等，如能量dispersive　X-ray（EDX）、电子能量损失能谱（EELS）、电子衍射（ED）等。不同检测目的和对象，需要选择合适的电镜类型和操作参数。

泽攸科技ZEM系列台式扫描电镜

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