SECS/GEM 底层协议解析

news2025/1/6 22:56:18

SECS是什么?

SEMI电子半导体联盟,为实现设备与工厂系统的快速对接数据,状态,配方,程序的标准化协议,SECS具有多个版本,本文主要介绍E5协议 HSMS通信方式,设备端的处理流程(Passive模式)。

SECS关键字

  • Host 主机一般指向工厂控制系统
  • EQP 单机设备
  • Active 在Tcp通信中主动连接对方的(可理解为客户端)
  • Passive 被动等待对方连接(可理解为服务器)
  • Device ID 设备标识
  • CEID 事件编号
  • SVID 设备状态编号
  • VID 设备变量ID
  • RPTID 报告编号
  • PPID 配方编号
  • ALCD 报警清除或者报警设置
  • ALID 报警编号
  • ALTX 报警文本

SECS的流和功能

Secs按照功能大类用Stream标识 按照具体功能Fucntion的方式标识

Stream编号功能名称Stream编号功能名称
1设备状态10终端服务
2设备控制与诊断-I11主机文件服务
3原料状态12晶元定位
4原料控制13数据集传输
5意外处理14对象服务
6数据采集15配方管理
7加工程序控制16加工管理
8控制程序输出17设备控制与诊断-II
9系统错误18子系统控制与数据

具体功能可以查看文末链接下。

S1F1,S1F2举例

S1F1 询问对方可以连接。
S1F2 应答对方是否可以连接。
SECS采用这样一问一答的形式,又问必有答。
发送者发送奇数 响应者发送偶数。

SECS 协议与报文

Secs 报文以16进制方式显示
rsp - 响应
req - 请求

Tcp连接是状态转换

  1. Not Connected 未建立连接状态
  2. Not Selected 已建立连接但为接受到selecte.rsp
  3. Selected 可以发送Secs的消息状态

报文格式

Message Length: 报文总长度减去自身占的4个字节(低位在后)
Message Header: 报文头占用10字节
Message Text: 具体消息内容

报文头详解(Message Header)

序号指从左到右字节的顺序

序号标识内容
01Session ID up相当于设备标识高字节,单机设备固定不变
02Session ID low相当于设备标识低字节,单机设备固定不变
03Stream不同消息不同例如S1则是1
04Function不同消息不同例如F1则是1
05PType消息编码格式 HSMS固定0
06SType取值可参考下面表格
07-10System Bytes标识一次通信

连接状态报文

类型报文长度报文头报文内容
select.req00 00 00 0AFF FF 00 00 00 01 System Bytes
select.rsp00 00 00 0AFF FF 00 00 00 02 System Bytes
LinkTest.req00 00 00 0AFF FF 00 00 00 05 System Bytes
LinkTest.rsp00 00 00 0AFF FF 00 00 00 06 System Bytes

System Bytes 标识每一次消息的标签占4字节,响应时可以依据发送者报文头最后4字节,发送可生成不重复的4个字节。
select.req 请求进入selected状态
select.rsp 回应可以进入selected状态
LinkTest.req 发送测试请求 主要是判断是否网络正常
LinkTest.rsp 回应对方请求

 SECS-II 报文格式

上图是数据项头部(Item Header/IH)定义,分为数据项的长度字节和格式字节,数据项头部的长度范围是 2-4个字节,其格式如图 4-11 所示。

格式字节:数据项头部的第1个字节是格式字节,它定义了数据项的格式和表示数据项长度的字节数,第 1、2 位表示长度字节的个数,其取值范围是 1-3,第 3-8 位定义了数据项的格式,即数据项的数据类型,目前 SECS-II 协议一共定义了 16 种数据项类型代码,它们的取值和含义如下面表 4.5 所示。

长度字节:数据项头部的第2~4字节是长度字节,数据项头部的长度由长度字节数决定,长度字节数的取值表示长度字节的个数,长度字节根据的长度字节数取值表示的是 8/16/24 位无符号整数,它表示数据项内容(Item Body/IB)的长度。 

 下面是一个消息格式的解析案例:

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