低真空扫描电子显微镜是显微技术领域的重要分支，与传统的高真空扫描电子显微镜相比，低真空电镜对含水、多孔、不耐电子束烧伤和不适合喷金处理的样品进行直接观测并具有更好的效果，对于生物样品而言低真空电镜比高真空电镜更具有优势，这为观察更广泛的样品提供了可能，极大拓展了扫描电子显微技术的应用范围。

这背后的原理在于，传统高真空扫描电子显微镜需要样品处于高真空状态下成像，而许多样品在高真空条件下会损坏或产生明显的电荷效应。低真空扫描电子显微镜的样品室通过加入一定的气体，使真空度下降至30Pa左右的低真空状态(高真空为10-4 Pa)，这时样品上多余的电子将被气体离子中和，避免电荷积聚，保持了清晰的成像效果。

泽攸科技作为国内台式扫描电镜的开拓者之一，最新推出的ZEM20台式扫描电镜，配备自主研发的低真空成像技术和样品室，实现了在低真空条件下高分辨率扫描并获得清晰图像的功能。

下面为几组高真空（前）与低真空（后）的对比图：

对于难以在高真空环境下成像的样品，ZEM20的低真空技术展现出无可比拟的优势。例如含水量较高的生物组织样品，在高真空条件下一般很难成像，且组织结构容易被破坏。而在ZEM20的低真空样品室中，这类样品的原始状态得以很好保留，清晰呈现组织及细胞的微结构。此外，低真空条件还能有效抑制或避免某些样品表面的污染现象发生。

综上，搭配了低真空成像技术的ZEM20台式扫描电镜为各类难以在高真空下成像的样品提供了直接有效的表征手段，大大拓展了扫描电子显微镜的应用范围，尤其使生物医学样品的检测成为可能。这项技术为材料和生命科学研究打开了新的窗口，相信随着低真空扫描电子显微技术的不断成熟，其应用前景必将更加广阔。

原文来源：https://www.zeptools.cn/application_detail/84.html